半導體，液晶設備的搬運震動檢測設備介紹

發(fā)布日期：2023-03-31      瀏覽次數(shù)：585

半導體，液晶設備的搬運震動檢測設備介紹

Mircostone 8通道小型無線運動記錄儀MVP-RF8-JC 半導體，液晶設備的搬運震動檢測 馬達和泵體的異常震動原因檢測分析

用途：

1. 半導體晶圓和液晶面板輸送時的振動監(jiān)測

2. 電機馬達、泵體的振動測量

特征：

（1） 在觸發(fā)測量模式下，在任意時間測量可以自動啟動！ 適合機器人等測量確定頻率時間！

（2） 采樣周期 0.05msec（采樣頻率 20kHz）！

（3） 作為外部傳感器，3軸加速度最多可連接兩個傳感器 MA3 系列

（4） 分辨率為 10 位→ 12 位

（5） 連續(xù)操作時間約為 10 小時→約 24 小時。

設備檢測優(yōu)點




1. 在觸發(fā)測量模式下，可以在任何時間自動開始測量。
   此功能非常適合測量工業(yè)機器人和運輸設備中的節(jié)拍時間振動。

2. 實現(xiàn)0.05毫秒的采樣周期！
   （采樣頻率 20kHz，在記錄模式下）

3. 最多可連接兩個 MA3 系列 3 軸加速度計作為外部傳感器。
   您可以選擇可以測量的寬范圍。