日本OKK紫外線照射器概述

發(fā)布日期：2021-06-15      瀏覽次數：1313

日本OKK紫外線照射器概述

紫外線照射器是一種用紫外線照射和固化紫外線固化膠帶/薄膜的設備。在半導體芯片制造工序中研磨或切割工件的背面研磨和切割等工序中，剝離保護帶時用作固化應用。

有兩種模式，一種是照射任意積分光量*¹的積分照射模式，另一種是照射任意時間的照射時間模式，可以在設定的條件下照射UV。

LED規(guī)格和全自動型在我們的高壓水銀規(guī)格-手動型黑光規(guī)格中的黑光規(guī)格準備，我們必須按照開發(fā)和生產計劃排列各種紫外線照射設備。

近年來，我們擁有配備LED光源UV-LED的全自動設備陣容，我們正在努力降低運行成本，并考慮到環(huán)境資源來設計設備。

紫外線照射器

• 手動
  
  黑光規(guī)格

  UVI-MA-系列

  它是一種臺式紫外線照射裝置，可固化紫外線固化膠帶膠水、粘合劑等。

  

  對應工作尺寸	6寸/8寸/12寸
  對應幀	6inch 切割框 x 2  8inch 切割框 x 1 12inch 切割框 x 1 (*不能照射整個12inch)
  設備外形尺寸	W520 x D550 x H200 (mm)
  設備重量	約30公斤
  類型	說明書（黑光規(guī)格）

• 全自動
  
  高壓水銀規(guī)格

  FHUV-系列

  它是一種使用具有強輻射能量的燈的紫外線固化裝置。

  

  對應工作尺寸	6、8寸切塊架
  設備外形尺寸	8英寸型：W1300 x D1100 x H1650（毫米）
  設備重量	8inch型：約550kg
  類型	全自動（高壓水銀規(guī)格）

   
• 全自動
  
  黑光規(guī)格

  FBUV-系列

  它是一種自動取出盒提供的晶圓框架，用紫外線照射它并存儲它的設備。

  

  對應工作尺寸	6、8 英寸或 8、12 英寸
  設備外形尺寸	8 英寸類型：W 660 x D1030 x H1160（毫米） 12 英寸類型：W1050 x D1100 x H1200（毫米）
  設備重量	8 英寸型：約 200 公斤 12 英寸型：約 200 公斤
  類型	全自動（黑光規(guī)格）