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日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in

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更新日期:2024-03-21

簡(jiǎn)要描述:

日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in
配備兼容 12 英寸晶圓的大面積樣品臺(tái)。使用磁控管方法,當(dāng)涂層電壓為 500V 或更低時(shí),可減少離子損傷。

日本shinkuu φ300mm  Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in

日本shinkuu φ300mm  Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in

配備兼容 12 英寸晶圓的大面積樣品臺(tái)。使用磁控管方法,當(dāng)涂層電壓為 500V 或更低時(shí),可減少離子損傷。
從脫氣到大氣氣體引入和涂層的全自動(dòng)操作,具有自動(dòng)涂層功能。
配備前滑動(dòng)式樣品臺(tái),可輕松放入和取出樣品。如果安裝 Ag 靶材,則可以輕松進(jìn)行透明薄膜等光澤處理。


12in 型和 12S 型取決于涂層區(qū)域!

MSP-12in
靶材的直徑為 12 英寸(直徑 300 毫米),均勻地覆蓋整個(gè) 12 英寸晶圓。它適用于大面積涂層和大量樣品的涂層。

MSP-12S
靶電極的 尺寸為直徑 50 mm。當(dāng)您想要對(duì)大面積樣品(例如 12 英寸晶圓)的一部分進(jìn)行鍍膜時(shí),可移動(dòng)靶非常有用。通過(guò)縮小電極尺寸可以降低運(yùn)行成本。此外,無(wú)需破碎大晶片。

日本shinkuu φ300mm  Pt 鍍膜機(jī)MSP-12in


主要產(chǎn)品規(guī)格

物品規(guī)格
電源單相AC100V15A 3芯插頭帶地線
設(shè)備尺寸寬 450 毫米,深 440 毫米,高 427 毫米
(設(shè)備重量 30 公斤)
旋轉(zhuǎn)泵G-101D 寬 234 mm,深 500 mm,高 264 mm
重量 25 kg
涂裝室尺寸內(nèi)徑 330 毫米,高度 80 毫米
目標(biāo)電極尺寸直徑300mm
樣品臺(tái)直徑300mm




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